高精度与高稳定性是减薄机气浮电主轴的核心需求

在半导体晶圆减薄与精密磨削工艺中，电主轴的性能直接决定了加工表面的平整度与良率。精效&牧风推出的减薄机电主轴，专注于高转速下的精密支承与动力输出，具备以下技术特点，旨在为精密制造提供稳健的动力保障。

 一 精准的运动控制

    •矢量控制算法：主轴采用多极永磁同步电机空间矢量算法（FOC）进行控制，确保了运行过程中的高度稳定性 。  

    •极致回转精度：产品具备高精度运动特性，回转精度可达 0.1μm，能够满足对表面精度要求严苛的减薄工艺 。

二、 先进的气浮支承技术

    •灵活的气路设计：提供小孔节流与多孔介质两种供气方案，用户可根据具体应用场景进行选择，以实现最佳的气膜特性 。  

    •高刚度与高动态响应：通过气浮支撑技术，主轴实现了高刚度支承，确保了在高速动态运行下的高精度表现 。  

    •卓越的动平衡性能：产品动平衡等级优于 G0.4 (ISO1940)，最大限度减少了旋转过程中的振动，保障了加工面的品质 。 

三、 可靠性与长寿命设计

    •高承载力：主轴设计具备大承载能力，能够有效支撑减薄工艺中的轴向负载，降低运行过程中的物理接触风险 。  

    •免维护长寿命：采用气浮无接触结构，实现了真正的无磨损运行。在正常操作下，产品具备半永久寿命，且无需繁琐的润滑维护 。

四、 灵活的定制服务

为了适配不同型号的减薄设备，牧风科技不仅提供规格齐全的标准化主轴产品，同时支持根据客户的具体安装接口、转速及负载需求进行定制化开发，确保与设备的无缝集成 。  

规格与性能

* 请按照规定压力供气，供气压力0.5-0.7MPa；

* 空气质量清洁 (过滤达1.0微米或更佳) IS08573-1 级别1，无油 IS08573-1 级别1，干燥(-15°C露点) IS0 8573-1 级别3。

8"气浮电主轴尺寸规格图

12"气浮电主轴尺寸规格图