气浮邦头(图1)在半导体封装领域,固晶工艺的精度与稳定性直接决定了产品的成品率与性能。针对传统机械邦头在高速固晶过程中存在的磨损快、精度衰减及寿命短等行业痛点,牧风自主研发并量产了高性能气浮邦头(Air Floating Bond Head)。

该产品作为固晶设备的核心执行部件,通过核心技术的革新,为 Mini/Micro LED、IC 及功率半导体封装提供了更可靠的精密运动方案 。

1 核心技术突破

气浮邦头采用无摩擦气浮支撑技术,实现了运动部件间的非接触运行,从底层物理机制上规避了传统机械摩擦带来的精度损失与部件损耗 。  

行业领先的运动精度:径向圆跳动控制在 <0.1um,端面圆跳动 <1um 。这一超高精度表现,能够完美适配 10um以下微间距芯片的固晶需求,显著提升键合良率 。  

    •卓越的负载与动态特性:支持 360°无限制旋转,最高转速可达800rpm,轴向最大推力负载达42N 。  

    •高可靠吸附系统:集成高真空吸附系统,设计负压达-90kPa,端部封堵负压确保在 -80kPa,有效降低固晶过程中的掉片率 。  

2 适应多场景的工艺兼容性

牧风气浮邦头并非单一场景工具,其出色的工艺兼容性使其能够广泛应用于多种主流封装技术 :  

    •工艺覆盖:支持正装焊、倒装焊及共晶焊全流程 。  

    •应用领域:

        Mini/Micro LED 芯片固晶 ; 

        IC 与存储芯片封装 ; 

        IGBT、MOSFET 等功率半导体固晶 ;  

        光电子器件与传感器封装 。  

3  极致长寿命

设计基于无接触气浮结构,产品实现了真正的“零磨损”运行 。系统内部无传统轴承、导轨等易损件,理论使用寿命超过 10 万小时 。对于追求长周期稳定运行的自动化产线而言,这款气浮邦头能有效降低设备的维护频次与运维成本。  技术咨询与定制化支持牧风科技始终致力于通过气浮技术的创新,为半导体封装设备提供更精准、更高效的动力支承。如果您正在为固晶工艺中的精度瓶颈或维护成本而困扰,欢迎随时联系我们。我们将为您提供专业的技术支持与选型方案。

牧风重新定义固晶精度与稳定性。

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牧风气体轴承最长已稳定运行  小时!

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